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晶圆盒清洁装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN200920069196.4
申请日：
2009-03-20
公开(公告)号：
CN201389530Y
公开(公告)日：
2010-01-27
发明(设计)人：
田华
章亚荣
申请人：
申请人地址：
201203上海市张江路18号
IPC主分类号：
B08B100
IPC分类号：
B08B1100
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）
代理人：
屈 蘅;李时云
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-01-27 | 授权 | 授权 |
| 2013-03-20 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101539997688 IPC(主分类):B08B 1/00 专利号:ZL2009200691964 变更事项:专利权人 变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号 变更后权利人:100176 北京经济技术开发区文昌大道18号 登记生效日:20130220 |
| 2019-04-12 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):B08B 1/00 申请日:20090320 授权公告日:20100127 |