一种步进扫描投影光刻机掩模台硅片台扫描运动同步误差校正系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310138494.5

申请日：

2013-04-21

公开(公告)号：

CN103207531B

公开(公告)日：

2013-07-17

发明(设计)人：

李兰兰胡松赵立新马平刘旗李金龙钟玲娜

申请人：

申请人地址：

610209 四川省成都市双流350信箱

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京科迪生专利代理有限责任公司 11251

代理人：

成金玉;贾玉忠

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101663501100 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2013101384945 申请日:20130421 授权公告日:20141210 终止日期:20150421
2013-08-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101506929868 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013101384945 申请日:20130421
2014-12-10	授权	授权
2013-07-17	公开	公开

共 50 条

[1]

步进扫描投影光刻机同步控制系统 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN100485534C ,2008-03-26

[2]

步进扫描光刻机晶片台掩模台同步控制系统 [P].

朱涛 ;

李艳秋 .

中国专利 :CN1967386A ,2007-05-23

[3]

步进扫描投影光刻机的照明系统 [P].

曾爱军 ;

陈立群 ;

方瑞芳 ;

黄惠杰 .

中国专利 :CN103412465B ,2013-11-27

[4]

步进扫描投影光刻机同步控制器 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN101149567A ,2008-03-26

[5]

步进扫描投影光刻机同步总线控制方法 [P].

刘世元 ;

陈勇辉 ;

池蜂 ;

周畅 ;

韦学志 .

中国专利 :CN100361112C ,2005-08-03

[6]

硬件同步控制系统及其控制方法、步进扫描投影光刻机 [P].

陈丹 ;

谢仁飚 .

中国专利 :CN115616866B ,2025-09-30

[7]

步进扫描光刻机连续扫描同步控制方法和系统 [P].

刘世元 ;

裴辛哲 ;

周畅 ;

陈勇辉 .

中国专利 :CN1259691C ,2005-03-02

[8]

硬件同步控制系统及其控制方法、步进扫描投影光刻机 [P].

陈丹 ;

谢仁飚 .

中国专利 :CN115616866A ,2023-01-17

[9]

一种对投影光刻机步进及扫描运动轨迹的规划方法 [P].

李兰兰 ;

胡松 ;

赵立新 ;

李金龙 ;

徐锋 ;

盛壮 .

中国专利 :CN102236269A ,2011-11-09

[10]

一种步进扫描投影光刻机多总线时序同步控制方法 [P].

池峰 ;

陈勇辉 ;

韦学志 ;

裴辛哲 .

中国专利 :CN1786825A ,2006-06-14

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