一种输送硅片的吸盘装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201220259180.1
申请日
2012-06-04
公开(公告)号
CN202640363U
公开(公告)日
2013-01-02
发明(设计)人
孙明祥
申请人
申请人地址
314413 浙江省嘉兴市海宁市丁桥镇钱江工业园镇保路72号
IPC主分类号
B25J1100
IPC分类号
B25J1506
代理机构
杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213
代理人
吴秉中
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片输送中的吸盘结构 [P]. 
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李向清 ;
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[3]
一种真空吸盘及硅片输送装置 [P]. 
施政辉 ;
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[6]
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[10]
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