一种用于硅片取放的吸盘装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202420880587.9
申请日
2024-04-25
公开(公告)号
CN222281962U
公开(公告)日
2024-12-31
发明(设计)人
代威 李祥辉 陈冲
申请人
湖南红太阳光电科技有限公司
申请人地址
410205 湖南省长沙市高新区麓谷街道东方红中路559号
IPC主分类号
H01L21/683
IPC分类号
H01L31/18
代理机构
湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008
代理人
覃族
法律状态
授权
国省代码
河北省 石家庄市
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共 50 条
[1]
用于石墨舟硅片取放的吸盘组件 [P]. 
潘加永 ;
戴秋喜 .
中国专利 :CN208521910U ,2019-02-19
[2]
硅片取放装置及硅片取放设备 [P]. 
陆斌 .
中国专利 :CN201849954U ,2011-06-01
[3]
用于石墨舟设备的硅片取放装置 [P]. 
陈五奎 ;
刘强 ;
冯加保 ;
耿荣军 ;
任超 .
中国专利 :CN206232813U ,2017-06-09
[4]
一种硅片取放机构 [P]. 
吴廷斌 ;
张学强 ;
张建伟 ;
罗银兵 ;
李学文 .
中国专利 :CN213026074U ,2021-04-20
[5]
一种硅片取放装置 [P]. 
王燕清 .
中国专利 :CN202352643U ,2012-07-25
[6]
一种硅片取放装置 [P]. 
胡情华 ;
刘芳亮 ;
唐文璇 .
中国专利 :CN221304612U ,2024-07-09
[7]
一种硅片取放装置 [P]. 
吴廷斌 ;
张学强 ;
张建伟 ;
罗银兵 ;
刘三利 .
中国专利 :CN214086610U ,2021-08-31
[8]
硅片取放装置 [P]. 
侯玉 ;
张春华 ;
衡阳 ;
陈佳男 ;
李琰琪 ;
郑旭然 ;
邢国强 .
中国专利 :CN206742265U ,2017-12-12
[9]
一种硅片取放装置及取放方法 [P]. 
代威 ;
张宇 ;
郭立 .
中国专利 :CN114335253A ,2022-04-12
[10]
一种用于取放液晶面板的吸盘装置 [P]. 
余章凯 ;
陈博鉴 ;
叶坤 .
中国专利 :CN204369104U ,2015-06-03