用于石墨舟硅片取放的吸盘组件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821090182.6

申请日：

2018-07-11

公开(公告)号：

CN208521910U

公开(公告)日：

2019-02-19

发明(设计)人：

潘加永戴秋喜

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区建林路666号出口加工区配套工业园35号标准厂房一楼

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L3118

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-19	授权	授权

共 50 条

[1]

用于石墨舟设备的硅片取放装置 [P].

陈五奎 ;

刘强 ;

冯加保 ;

耿荣军 ;

任超 .

中国专利 :CN206232813U ,2017-06-09

[2]

用于石墨舟设备的硅片取放装置 [P].

陈五奎 ;

刘强 ;

冯加保 ;

耿荣军 ;

任超 .

中国专利 :CN106435521B ,2017-02-22

[3]

一种用于硅片取放的吸盘装置 [P].

代威 ;

李祥辉 ;

陈冲 .

中国专利 :CN222281962U ,2024-12-31

[4]

一种用于石墨舟双舟取放的对接平台及石墨舟取放方法 [P].

李祥辉 ;

陈冲 ;

李智 .

中国专利 :CN117373970A ,2024-01-09

[5]

用于大尺寸硅片镀膜的石墨舟舟片及石墨舟 [P].

徐义兰 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN213660362U ,2021-07-09

[6]

用于石墨舟归整硅片的装置 [P].

杜晓铭 ;

余仲 ;

李操政 ;

唐晓宇 ;

张勇 .

中国专利 :CN207637826U ,2018-07-20

[7]

一种用于人工取放石墨舟时的新型石墨舟定位装置 [P].

吴廷斌 ;

张学强 ;

张建伟 ;

罗银兵 ;

杨乐 .

中国专利 :CN217946782U ,2022-12-02

[8]

分组控制石墨舟吸盘装置 [P].

姜明 .

中国专利 :CN210403690U ,2020-04-24

[9]

双石墨舟取放片定位机构 [P].

江幺明 ;

戴秋喜 ;

潘加永 ;

刘光照 .

中国专利 :CN213816101U ,2021-07-27

[10]

卸载石墨舟载具中成组硅片的吸盘组件机构及卸载方法 [P].

戎有兰 ;

杜虎明 ;

岳军 ;

王彩云 ;

李永明 .

中国专利 :CN108831853A ,2018-11-16

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