卸载石墨舟载具中成组硅片的吸盘组件机构及卸载方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810491610.4

申请日：

2018-05-22

公开(公告)号：

CN108831853A

公开(公告)日：

2018-11-16

发明(设计)人：

戎有兰杜虎明岳军王彩云李永明

申请人：

申请人地址：

030024 山西省太原市万柏林区和平南路115号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

山西华炬律师事务所 14106

代理人：

陈奇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-26	授权	授权
2018-11-16	公开	公开
2018-12-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20180522

共 13 条

[1]

用于石墨舟硅片取放的吸盘组件 [P].

潘加永 ;

戴秋喜 .

中国专利 :CN208521910U ,2019-02-19

[2]

石墨舟的硅片拍舟方法、装置、设备及存储介质 [P].

杨欢 ;

王宏军 ;

李国 ;

冯瑞 ;

孟亚军 ;

王祥峰 ;

杭太鹏 .

中国专利 :CN119920734A ,2025-05-02

[3]

石墨舟的硅片拍舟方法、装置、设备及存储介质 [P].

杨欢 ;

王宏军 ;

李国 ;

冯瑞 ;

孟亚军 ;

王祥峰 ;

杭太鹏 .

中国专利 :CN119920734B ,2025-06-27

[4]

一种PECVD石墨舟载具的制造方法 [P].

邱家梁 ;

黄惜惜 ;

周肃 ;

贾佳 ;

黄国平 ;

李菁楠 ;

曹华斌 ;

张会学 ;

姜利凯 ;

杨忠绪 .

中国专利 :CN110760822A ,2020-02-07

[5]

一种在线式石墨舟中硅片的检测系统及检测方法 [P].

何勇 ;

黎俊龙 ;

张彪 .

中国专利 :CN110277327B ,2024-03-22

[6]

一种在线式石墨舟中硅片的检测系统及检测方法 [P].

何勇 ;

黎俊龙 ;

张彪 .

中国专利 :CN110277327A ,2019-09-24

[7]

一种石墨舟的移载机构及半导体加工设备 [P].

郝晓明 ;

闫志顺 ;

盛强 ;

赵福平 .

中国专利 :CN212925163U ,2021-04-09

[8]

基片处理系统及方法、载具、支撑及吸盘组件、插片方法 [P].

严大 .

中国专利 :CN116313963B ,2024-02-06

[9]

一种真空吸盘装置及固定、卸载加工部件的方法 [P].

葛钟 ;

库黎明 ;

王永涛 ;

朱秦发 ;

闫志瑞 ;

李磊 .

中国专利 :CN106891183A ,2017-06-27

[10]

一种硅片用石墨舟的舟内缺陷在线检测系统及检测方法 [P].

李润丰 ;

张庆杭 ;

钟婷 ;

胡化云 .

中国专利 :CN117805126A ,2024-04-02