共 50 条
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基片处理系统及方法、载具、支撑及吸盘组件、插片方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310392892.3
申请日：
2023-04-13
公开(公告)号：
CN116313963B
公开(公告)日：
2024-02-06
发明(设计)人：
严大
申请人：
江苏微导纳米科技股份有限公司
申请人地址：
214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/683
H01L21/673
代理机构：
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280
代理人：
泉雨昕
法律状态：
著录事项变更
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-05 | 著录事项变更 | 著录事项变更IPC(主分类):H01L 21/677变更事项:申请人变更前:江苏微导纳米科技股份有限公司变更后:江苏微导纳米科技股份有限公司变更事项:地址变更前:214000 江苏省无锡市新吴区漓江路11号变更后:214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号 |
| 2024-02-06 | 授权 | 授权 |