一种在线式石墨舟中硅片的检测系统及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910659585.0

申请日：

2019-07-22

公开(公告)号：

CN110277327B

公开(公告)日：

2024-03-22

发明(设计)人：

何勇黎俊龙张彪

申请人：

深圳市艾特自动化有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区福永街道怀德翠岗西路北方骏亿商务大厦4011

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L31/18

代理机构：

深圳市中科创为专利代理有限公司 44384

代理人：

谭雪婷;谢亮

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种在线式石墨舟中硅片的检测系统及检测方法 [P].

何勇 ;

黎俊龙 ;

张彪 .

中国专利 :CN110277327A ,2019-09-24

[2]

一种在线式石墨舟中硅片的检测系统 [P].

何勇 ;

黎俊龙 ;

张彪 .

中国专利 :CN209963021U ,2020-01-17

[3]

一种在线式石墨舟形变检测系统及形变检测方法 [P].

张彪 ;

陆林冬 ;

李金荣 ;

郭帅军 .

中国专利 :CN112344872A ,2021-02-09

[4]

一种硅片用石墨舟的舟内缺陷在线检测系统及检测方法 [P].

李润丰 ;

张庆杭 ;

钟婷 ;

胡化云 .

中国专利 :CN117805126A ,2024-04-02

[5]

一种基于在线式石墨舟硅片检测的视觉算法 [P].

王安红 ;

代泽蒲 ;

景灏 ;

杨亚坤 ;

卜冬寒 .

中国专利 :CN114764755A ,2022-07-19

[6]

一种在线式石墨舟形变检测系统 [P].

张彪 ;

陆林冬 ;

李金荣 ;

郭帅军 .

中国专利 :CN214095939U ,2021-08-31

[7]

一种石墨舟整舟检测系统及检测方法 [P].

张彪 ;

陈明溪 ;

吴卓庚 .

中国专利 :CN114234827B ,2024-03-29

[8]

一种石墨舟整舟检测系统及检测方法 [P].

张彪 ;

陈明溪 ;

吴卓庚 .

中国专利 :CN114234827A ,2022-03-25

[9]

在线石墨舟翘片检测装置及检测方法 [P].

代威 ;

李祥辉 .

中国专利 :CN114136967A ,2022-03-04

[10]

硅片检测方法、装置及硅片检测系统 [P].

孙立安 ;

徐茂勇 ;

高鹏 .

中国专利 :CN121054507A ,2025-12-02

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