一种在线式石墨舟中硅片的检测系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921158393.3

申请日：

2019-07-22

公开(公告)号：

CN209963021U

公开(公告)日：

2020-01-17

发明(设计)人：

何勇黎俊龙张彪

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区福永街道怀德翠岗西路北方骏亿商务大厦4011

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

深圳市中科创为专利代理有限公司 44384

代理人：

谭雪婷;谢亮

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种在线式石墨舟中硅片的检测系统及检测方法 [P].

何勇 ;

黎俊龙 ;

张彪 .

中国专利 :CN110277327B ,2024-03-22

[2]

一种在线式石墨舟中硅片的检测系统及检测方法 [P].

何勇 ;

黎俊龙 ;

张彪 .

中国专利 :CN110277327A ,2019-09-24

[3]

一种在线式石墨舟形变检测系统 [P].

张彪 ;

陆林冬 ;

李金荣 ;

郭帅军 .

中国专利 :CN214095939U ,2021-08-31

[4]

一种基于在线式石墨舟硅片检测的视觉算法 [P].

王安红 ;

代泽蒲 ;

景灏 ;

杨亚坤 ;

卜冬寒 .

中国专利 :CN114764755A ,2022-07-19

[5]

一种在线式石墨舟形变检测系统及形变检测方法 [P].

张彪 ;

陆林冬 ;

李金荣 ;

郭帅军 .

中国专利 :CN112344872A ,2021-02-09

[6]

一种硅片用石墨舟的舟内缺陷在线检测系统及检测方法 [P].

李润丰 ;

张庆杭 ;

钟婷 ;

胡化云 .

中国专利 :CN117805126A ,2024-04-02

[7]

一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备 [P].

高凤海 ;

费正洪 ;

李栋 .

中国专利 :CN209418475U ,2019-09-20

[8]

一种防止内部硅片受损且计数石墨舟的石墨舟装卸片机 [P].

蔡伦 .

中国专利 :CN206134702U ,2017-04-26

[9]

一种硅片镀膜用的石墨舟 [P].

李永超 ;

崔景光 .

中国专利 :CN202373621U ,2012-08-08

[10]

一种硅片镀膜用的石墨舟以及舟钩 [P].

许明金 ;

符昌京 ;

蔡少坤 ;

邓清龙 .

中国专利 :CN204011387U ,2014-12-10

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