一种PECVD石墨舟载具的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911220599.9

申请日：

2019-12-03

公开(公告)号：

CN110760822A

公开(公告)日：

2020-02-07

发明(设计)人：

邱家梁黄惜惜周肃贾佳黄国平李菁楠曹华斌张会学姜利凯杨忠绪

申请人：

申请人地址：

212132 江苏省镇江市新区北山路9号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人：

汤磊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20191203
2020-02-07	公开	公开
2022-04-01	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/458 申请公布日:20200207

共 50 条

[1]

一种PECVD石墨舟的电池片插片方法和PECVD石墨舟 [P].

李宏 ;

秦积海 ;

王苗 ;

孙长红 ;

李亚兵 ;

贾慧君 .

中国专利 :CN111081618A ,2020-04-28

[2]

石墨舟清洗载具 [P].

王骏明 ;

杨伟 ;

胡政春 ;

黄飞 .

中国专利 :CN210966276U ,2020-07-10

[3]

一种PECVD石墨舟的清洗方法 [P].

张敏 ;

冯晓军 ;

吴群峰 .

中国专利 :CN113118158A ,2021-07-16

[4]

一种PECVD石墨舟的清洗方法 [P].

张大荣 ;

崔美丽 ;

赵福祥 ;

崔钟亨 ;

刘俊稳 ;

沈丽娟 .

中国专利 :CN110523696A ,2019-12-03

[5]

一种PECVD用石墨舟 [P].

朱旭东 ;

史孟杰 .

中国专利 :CN211170885U ,2020-08-04

[6]

一种新型PECVD石墨舟 [P].

叶荣文 ;

褚玉宝 ;

沈欢 ;

肖仲 ;

刘俊 .

中国专利 :CN207367943U ,2018-05-15

[7]

石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备 [P].

邓金生 ;

王凯 ;

赵峰 ;

李操政 .

中国专利 :CN210394518U ,2020-04-24

[8]

一种石墨舟石墨的制造方法 [P].

赵世梁 ;

刘延峰 ;

马军利 ;

牛尉丰 ;

李延松 .

中国专利 :CN114736020A ,2022-07-12

[9]

一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及PECVD设备 [P].

刘庆平 ;

丁超 ;

董广斌 ;

童洪波 .

中国专利 :CN221094282U ,2024-06-07

[10]

一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构 [P].

肖洁 ;

李斌 ;

曹明旺 .

中国专利 :CN106756892A ,2017-05-31

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