单晶硅片烘烤专用烤箱

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620925755.7

申请日：

2016-08-23

公开(公告)号：

CN206019252U

公开(公告)日：

2017-03-15

发明(设计)人：

吕凤岗程林曹来福戴珍旭胡正田

申请人：

申请人地址：

239300 安徽省滁州市天长市经济开发区纬三路128号

IPC主分类号：

F26B2100

IPC分类号：

F26B2110

代理机构：

安徽信拓律师事务所 34117

代理人：

张加宽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-15	授权	授权
2020-08-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F26B 21/00 申请日:20160823 授权公告日:20170315 终止日期:20190823

共 50 条

[1]

一种单晶硅片烘烤用烤箱 [P].

王初林 .

中国专利 :CN214276334U ,2021-09-24

[2]

单晶硅片盒 [P].

钟平 .

中国专利 :CN204668284U ,2015-09-23

[3]

单晶硅片 [P].

沈浩平 ;

李建弘 ;

危晨 ;

刘涛 ;

赵越 .

中国专利 :CN306223259S ,2020-12-11

[4]

单晶硅片专用超声清洗装置 [P].

吕凤岗 ;

程林 ;

曹来福 ;

戴珍旭 ;

胡正田 .

中国专利 :CN206009340U ,2017-03-15

[5]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

[6]

单晶硅片清洗装置 [P].

牛龙 ;

王文 ;

童林剑 ;

张斌 ;

胡亚东 ;

董典谟 ;

樊帅 .

中国专利 :CN203508507U ,2014-04-02

[7]

单晶硅片及单晶硅片的处理方法 [P].

李厚 ;

陆爱军 ;

徐雪明 .

中国专利 :CN120060974A ,2025-05-30

[8]

直角单晶硅片 [P].

陈立民 ;

刘雷 ;

陈鹏 ;

杨广宇 ;

赵亮 .

中国专利 :CN201681949U ,2010-12-22

[9]

小角单晶硅片 [P].

陈鹏 ;

杨广宇 ;

陈丽芳 .

中国专利 :CN202443977U ,2012-09-19

[10]

准单晶硅片清洗方法 [P].

石开明 ;

孙志刚 ;

刘茂华 ;

韩子强 ;

石坚 ;

吴继贤 ;

章建海 .

中国专利 :CN102806216A ,2012-12-05

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