单晶硅片专用超声清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620923082.1

申请日：

2016-08-23

公开(公告)号：

CN206009340U

公开(公告)日：

2017-03-15

发明(设计)人：

吕凤岗程林曹来福戴珍旭胡正田

申请人：

申请人地址：

239300 安徽省滁州市天长市经济开发区纬三路128号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

代理机构：

安徽信拓律师事务所 34117

代理人：

张加宽

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/12 申请日:20160823 授权公告日:20170315 终止日期:20190823
2017-03-15	授权	授权

共 50 条

[1]

超声波清洗单晶硅片装置 [P].

汪贵发 ;

楼春兰 ;

郑辉 .

中国专利 :CN201098688Y ,2008-08-13

[2]

单晶硅片清洗装置 [P].

曹建鸿 .

中国专利 :CN106955864A ,2017-07-18

[3]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

[4]

单晶硅片清洗装置 [P].

牛龙 ;

王文 ;

童林剑 ;

张斌 ;

胡亚东 ;

董典谟 ;

樊帅 .

中国专利 :CN203508507U ,2014-04-02

[5]

单晶硅片清洗装置 [P].

向菊 .

中国专利 :CN213079309U ,2021-04-30

[6]

超声波清洗单晶硅片方法及其装置 [P].

汪贵发 ;

楼春兰 ;

郑辉 ;

汪新平 .

中国专利 :CN100481324C ,2008-05-14

[7]

单晶硅片的清洗装置 [P].

邱小永 .

中国专利 :CN208495075U ,2019-02-15

[8]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

陈子轩 ;

孔繁政 ;

陈亚男 .

中国专利 :CN218361035U ,2023-01-24

[9]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

李文 .

中国专利 :CN217990231U ,2022-12-09

[10]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

倪云达 ;

葛正芳 ;

钱大丰 .

中国专利 :CN202134514U ,2012-02-01

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