静电卡盘板和静电卡盘板的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710895263.7

申请日：

2017-09-28

公开(公告)号：

CN107919312A

公开(公告)日：

2018-04-17

发明(设计)人：

松崎荣

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

B23K26362

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

黄纶伟;于靖帅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-17	公开	公开
2019-10-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20170928

共 50 条

[1]

静电卡盘的制造方法和静电卡盘 [P].

多贺敏 ;

小林義之 ;

永关一也 .

中国专利 :CN109216253A ,2019-01-15

[2]

静电卡盘板的制造方法 [P].

古田健次 ;

里百合子 .

中国专利 :CN109285806A ,2019-01-29

[3]

静电卡盘的再生方法和静电卡盘 [P].

喜多川大 .

中国专利 :CN111048387A ,2020-04-21

[4]

静电卡盘的再生方法和静电卡盘 [P].

喜多川大 .

日本专利 :CN111048387B ,2024-04-05

[5]

静电卡盘的制法和静电卡盘 [P].

曻和宏 ;

江口正人 ;

木村拓二 .

中国专利 :CN102738054A ,2012-10-17

[6]

静电卡盘及静电卡盘的制造方法 [P].

小野浩司 .

中国专利 :CN112534565A ,2021-03-19

[7]

静电卡盘密封件和静电卡盘组件 [P].

王泽东 ;

孙宝铜 ;

刘晓丽 ;

李炎蔚 ;

赵琪 .

美国专利 :CN120991077A ,2025-11-21

[8]

具有静电卡盘的基板处理系统和静电卡盘的制造方法 [P].

李东穆 ;

李相起 .

中国专利 :CN112736007A ,2021-04-30

[9]

静电卡盘装置和静电吸附方法 [P].

松崎荣 .

中国专利 :CN108242421B ,2018-07-03

[10]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

乾敏祥 ;

一由拓 ;

大塚刚史 .

日本专利 :CN118339645A ,2024-07-12

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