静电卡盘密封件和静电卡盘组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410627050.6

申请日：

2024-05-20

公开(公告)号：

CN120991077A

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

王泽东孙宝铜刘晓丽李炎蔚赵琪

申请人：

英特尔NDTM美国有限公司

申请人地址：

美国

IPC主分类号：

F16J15/10

IPC分类号：

H01L21/683

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;池兵

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):F16J 15/10申请日:20240520
2025-11-21	公开	公开

共 50 条

[1]

静电卡盘的制法和静电卡盘 [P].

曻和宏 ;

江口正人 ;

木村拓二 .

中国专利 :CN102738054A ,2012-10-17

[2]

静电卡盘的制造方法和静电卡盘 [P].

多贺敏 ;

小林義之 ;

永关一也 .

中国专利 :CN109216253A ,2019-01-15

[3]

静电卡盘的再生方法和静电卡盘 [P].

喜多川大 .

中国专利 :CN111048387A ,2020-04-21

[4]

静电卡盘的再生方法和静电卡盘 [P].

喜多川大 .

日本专利 :CN111048387B ,2024-04-05

[5]

静电卡盘板和静电卡盘板的制造方法 [P].

松崎荣 .

中国专利 :CN107919312A ,2018-04-17

[6]

保持构件和静电卡盘 [P].

南端友哉 ;

上松秀树 ;

山口贵司 ;

稻吉辉 .

日本专利 :CN119054065A ,2024-11-29

[7]

接合体和静电卡盘 [P].

荒川竜一 ;

田中智雄 ;

吉本修 .

中国专利 :CN115551665A ,2022-12-30

[8]

保持装置和静电卡盘 [P].

稻吉辉 ;

上松秀树 .

日本专利 :CN119181670A ,2024-12-24

[9]

静电卡盘装置和静电吸附方法 [P].

松崎荣 .

中国专利 :CN108242421B ,2018-07-03

[10]

静电卡盘组件 [P].

罗恩·范奥斯 ;

埃里克·D·罗斯 .

中国专利 :CN1125531C ,1998-09-23

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