保持装置和静电卡盘

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410789911.0

申请日：

2024-06-19

公开(公告)号：

CN119181670A

公开(公告)日：

2024-12-24

发明(设计)人：

稻吉辉上松秀树

申请人：

日本特殊陶业株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;孙德崇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20240619
2024-12-24	公开	公开

共 50 条

[1]

保持构件和静电卡盘 [P].

南端友哉 ;

上松秀树 ;

山口贵司 ;

稻吉辉 .

日本专利 :CN119054065A ,2024-11-29

[2]

静电卡盘的制法和静电卡盘 [P].

曻和宏 ;

江口正人 ;

木村拓二 .

中国专利 :CN102738054A ,2012-10-17

[3]

静电卡盘装置和静电吸附方法 [P].

松崎荣 .

中国专利 :CN108242421B ,2018-07-03

[4]

静电卡盘的制造方法和静电卡盘 [P].

多贺敏 ;

小林義之 ;

永关一也 .

中国专利 :CN109216253A ,2019-01-15

[5]

静电卡盘的再生方法和静电卡盘 [P].

喜多川大 .

中国专利 :CN111048387A ,2020-04-21

[6]

静电卡盘的再生方法和静电卡盘 [P].

喜多川大 .

日本专利 :CN111048387B ,2024-04-05

[7]

基片处理装置和静电卡盘 [P].

大槻兴平 .

日本专利 :CN120345057A ,2025-07-18

[8]

静电卡盘密封件和静电卡盘组件 [P].

王泽东 ;

孙宝铜 ;

刘晓丽 ;

李炎蔚 ;

赵琪 .

美国专利 :CN120991077A ,2025-11-21

[9]

接合体和静电卡盘 [P].

荒川竜一 ;

田中智雄 ;

吉本修 .

中国专利 :CN115551665A ,2022-12-30

[10]

静电卡盘板和静电卡盘板的制造方法 [P].

松崎荣 .

中国专利 :CN107919312A ,2018-04-17

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