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磁栅尺设备、位置测量设备和位置测量方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910374389.9
申请日：
2019-05-07
公开(公告)号：
CN111912326A
公开(公告)日：
2020-11-10
发明(设计)人：
丁兆洋 费利克斯.格里姆
申请人：
申请人地址：
214121 江苏省无锡市太湖街道富力十号C区,3-1802
IPC主分类号：
G01B700
IPC分类号：
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
张银英
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-11-10 公开 公开
2020-11-27 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 7/00 申请日:20190507
共 50 条
[1]
磁栅尺设备、位置测量设备和位置测量方法 [P]. 
丁兆洋 ;
费利克斯.格里姆 .
中国专利 :CN111912326B ,2025-04-11
[2]
磁栅尺设备和位置测量设备 [P]. 
丁兆洋 ;
费利克斯.格里姆 .
中国专利 :CN210051288U ,2020-02-11
[3]
位置测量设备和位置测量方法 [P]. 
阿木智彦 .
中国专利 :CN101943969B ,2011-01-12
[4]
移动单元位置测量设备和移动单元位置测量方法 [P]. 
长谷川直人 .
中国专利 :CN102216802B ,2011-10-12
[5]
位置姿势测量设备和位置姿势测量方法 [P]. 
小林一彦 ;
内山晋二 .
中国专利 :CN102410832B ,2012-04-11
[6]
位置测量方法、位置测量设备、光刻设备以及装置制造方法、光学元件 [P]. 
J·克洛泽 ;
A·登博夫 ;
S·马蒂杰森 .
中国专利 :CN104321703B ,2015-01-28
[7]
位置测量设备 [P]. 
U.本纳 .
中国专利 :CN102341676A ,2012-02-01
[8]
位置测量设备和用于操作位置测量设备的方法 [P]. 
佐尔坦·坎特 ;
佐尔坦·波利克 ;
迈克尔·弗里德里希 .
中国专利 :CN106104210A ,2016-11-09
[9]
光刻设备和位置测量方法 [P]. 
E·J·M·尤斯森 ;
T·A·R·范埃佩 ;
W·O·普里 .
中国专利 :CN1758140A ,2006-04-12
[10]
位置测量方法和位置测量装置 [P]. 
郭铮 .
中国专利 :CN110793514A ,2020-02-14
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