基于外差干涉相位法的高分辨率滚转角测量方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410414682.0

申请日：

2014-08-21

公开(公告)号：

CN104180776A

公开(公告)日：

2014-12-03

发明(设计)人：

王昭高建民黄军辉李朝辉郭俊杰

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

IPC主分类号：

G01B1126

IPC分类号：

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

徐文权

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101593544680 IPC(主分类):G01B 11/26 专利申请号:2014104146820 申请日:20140821
2022-07-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/26 申请日:20140821 授权公告日:20171215 终止日期:20210821
2017-12-15	授权	授权
2014-12-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高分辨率光栅外差干涉滚转角测量方法及装置 [P].

汤善治 ;

张霄猛 ;

于海涵 ;

何天 ;

杨嘉乐 .

中国专利 :CN118687507A ,2024-09-24

[2]

一种高分辨率的滚转角测量装置及测量方法 [P].

王昭 ;

汤善治 ;

高建民 ;

钟丽红 ;

郭俊杰 .

中国专利 :CN102818541B ,2012-12-12

[3]

高分辨率外差激光干涉系统及提高分辨率的方法 [P].

马明英 .

中国专利 :CN101344375A ,2009-01-14

[4]

光栅外差干涉系统及其滚转角测量方法 [P].

汤善治 ;

李明 ;

盛伟繁 ;

王赫影 .

中国专利 :CN108775878B ,2018-11-09

[5]

基于半波片的滚转角外差干涉测量装置及测量方法 [P].

乐燕芬 ;

金施嘉珞 ;

金涛 .

中国专利 :CN110595393A ,2019-12-20

[6]

基于半波片的衍射光栅外差干涉滚转角测量方法及装置 [P].

汤善治 ;

张霄猛 ;

于海涵 ;

何天 ;

杨嘉乐 .

中国专利 :CN118758217A ,2024-10-11

[7]

基于半波片的衍射光栅外差干涉滚转角测量方法及装置 [P].

汤善治 ;

张霄猛 ;

于海涵 ;

何天 ;

杨嘉乐 .

中国专利 :CN118758217B ,2025-12-02

[8]

高分辨率位移测量装置及测量方法 [P].

刘维新 ;

武中臣 ;

贺鹏志 ;

王晴 ;

仲亦凡 .

中国专利 :CN115325943A ,2022-11-11

[9]

高分辨率位移测量装置及测量方法 [P].

刘维新 ;

武中臣 ;

贺鹏志 ;

王晴 ;

仲亦凡 .

中国专利 :CN115325943B ,2025-05-13

[10]

基于倾斜折叠高反镜的外差干涉法滚转角测量装置及方法 [P].

王昭 ;

齐静雅 ;

黄军辉 ;

高建民 ;

余宝 .

中国专利 :CN105444698A ,2016-03-30

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