一种紫外光掩膜装置及其使用方法

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专利类型
发明
申请号
CN201610325723.8
申请日
2016-05-13
公开(公告)号
CN105759571A
公开(公告)日
2016-07-13
发明(设计)人
金宰弘 赵致贤 张富强
申请人
申请人地址
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
代理机构
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人
黄志华
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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