一种晶圆机台废液排放系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721399339.9

申请日：

2017-10-27

公开(公告)号：

CN207367932U

公开(公告)日：

2018-05-15

发明(设计)人：

杨小雄

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区沈梅路600号4栋1楼

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251

代理人：

郭桂峰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种废液排放设备及废液排放系统 [P].

赵赞良 ;

闫彩龙 ;

聂大小 ;

杨明明 .

中国专利 :CN214335561U ,2021-10-01

[2]

一种废液排放系统 [P].

苏浩 ;

陈飞 ;

汤加进 ;

程凯 .

中国专利 :CN220747144U ,2024-04-09

[3]

一种重力流废液排放系统 [P].

黄香 ;

张银良 ;

季胜杰 ;

郁春 .

中国专利 :CN217025370U ,2022-07-22

[4]

废液自动排放系统 [P].

杨柏茂 .

中国专利 :CN215403148U ,2022-01-04

[5]

一种废液排放系统、废液排放方法及应用 [P].

陈苏伟 ;

李佳东 ;

刘盈楹 ;

李国森 ;

张贵拓 .

中国专利 :CN114937622A ,2022-08-23

[6]

一种扩散炉废液自动排放系统 [P].

雷小龙 ;

谢毅 ;

张忠文 ;

王斯海 ;

李宝飞 ;

吕飞 ;

胡云川 ;

李龙 ;

李富林 .

中国专利 :CN210773497U ,2020-06-16

[7]

一种全自动废液收集排放系统 [P].

马云春 ;

李玮 ;

陶秋芬 ;

陶艳梅 ;

郭志 ;

张勇 .

中国专利 :CN214990483U ,2021-12-03

[8]

核电站废液排放系统 [P].

于世昆 ;

李俊苹 ;

姚兵 ;

白婴 ;

潘跃龙 .

中国专利 :CN105390172B ,2016-03-09

[9]

废液收集装置、废液排放系统和排放方法 [P].

谢子贤 .

中国专利 :CN102370561B ,2012-03-14

[10]

一种晶圆清洗设备废水的排放系统及其应用 [P].

金小斗 .

中国专利 :CN105202369A ,2015-12-30

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