一种废液排放系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322036264.X
申请日
2023-07-31
公开(公告)号
CN220747144U
公开(公告)日
2024-04-09
发明(设计)人
苏浩 陈飞 汤加进 程凯
申请人
沪士电子股份有限公司
申请人地址
215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇东龙路1号
IPC主分类号
E03F1/00
IPC分类号
E03F5/10 E03F5/22 E03F7/04 E03F3/04
代理机构
南京纵横知识产权代理有限公司 32224
代理人
刘亚铃
法律状态
授权
国省代码
江苏省 苏州市
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共 50 条
[1]
一种废液排放设备及废液排放系统 [P]. 
赵赞良 ;
闫彩龙 ;
聂大小 ;
杨明明 .
中国专利 :CN214335561U ,2021-10-01
[2]
一种重力流废液排放系统 [P]. 
黄香 ;
张银良 ;
季胜杰 ;
郁春 .
中国专利 :CN217025370U ,2022-07-22
[3]
废液自动排放系统 [P]. 
杨柏茂 .
中国专利 :CN215403148U ,2022-01-04
[4]
一种废液排放系统、废液排放方法及应用 [P]. 
陈苏伟 ;
李佳东 ;
刘盈楹 ;
李国森 ;
张贵拓 .
中国专利 :CN114937622A ,2022-08-23
[5]
一种废液中和处理排放系统 [P]. 
王美彩 ;
朱卫平 ;
刘丰奎 ;
刘盼西 ;
刘向东 ;
姬丹 ;
牛军 ;
陆耀 ;
刘剑萍 ;
王建 ;
郝俊 .
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[6]
管路连接装置及废液排放系统 [P]. 
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中国专利 :CN211501976U ,2020-09-15
[7]
废液收集装置、废液排放系统和排放方法 [P]. 
谢子贤 .
中国专利 :CN102370561B ,2012-03-14
[8]
一种晶圆机台废液排放系统 [P]. 
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[9]
一种扩散炉废液自动排放系统 [P]. 
雷小龙 ;
谢毅 ;
张忠文 ;
王斯海 ;
李宝飞 ;
吕飞 ;
胡云川 ;
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李富林 .
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[10]
一种全自动废液收集排放系统 [P]. 
马云春 ;
李玮 ;
陶秋芬 ;
陶艳梅 ;
郭志 ;
张勇 .
中国专利 :CN214990483U ,2021-12-03