一种卷对卷真空镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821978496.X

申请日：

2018-11-26

公开(公告)号：

CN209260195U

公开(公告)日：

2019-08-16

发明(设计)人：

张俊峰赵子东许春立张大剑

申请人：

申请人地址：

201505 上海市金山区金山工业区金飞路808号

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-16	授权	授权

共 50 条

[1]

双面卷对卷真空镀膜设备 [P].

唐世杰 ;

王启任 .

中国专利 :CN202187062U ,2012-04-11

[2]

一种新型真空容器结构的卷对卷真空镀膜设备 [P].

朱刚毅 ;

朱刚劲 .

中国专利 :CN216891198U ,2022-07-05

[3]

卷对卷真空镀膜生产线 [P].

曹蔚琦 ;

金湛 ;

王亚栋 ;

秦琴 ;

夏文豪 .

中国专利 :CN114561627A ,2022-05-31

[4]

卷对卷连续真空镀膜生产机 [P].

张浙军 .

中国专利 :CN202530158U ,2012-11-14

[5]

并行卷对卷真空镀膜系统及真空镀膜方法 [P].

傅广生 ;

刘海旭 ;

于威 ;

杨彦斌 ;

李云 ;

路万兵 ;

王春生 .

中国专利 :CN106048562B ,2016-10-26

[6]

一种卷对卷磁控溅射真空镀膜装置 [P].

向勇 ;

傅绍英 ;

胡杨 ;

杨小军 .

中国专利 :CN205688003U ,2016-11-16

[7]

一种三腔室超导带材卷对卷真空镀膜设备 [P].

成林 .

中国专利 :CN222770945U ,2025-04-18

[8]

有掩膜功能的卷对卷真空镀膜设备 [P].

成林 .

中国专利 :CN115522178A ,2022-12-27

[9]

一种新型真空容器结构的卷对卷真空镀膜设备及镀膜方法 [P].

朱刚毅 ;

朱刚劲 .

中国专利 :CN114525491A ,2022-05-24

[10]

卷对卷连续真空镀膜生产机 [P].

张浙军 .

中国专利 :CN102618839A ,2012-08-01

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