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一种三腔室超导带材卷对卷真空镀膜设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420657932.2
申请日：
2024-04-02
公开(公告)号：
CN222770945U
公开(公告)日：
2025-04-18
发明(设计)人：
成林
申请人：
昆山浦元真空技术工程有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市昆山市张浦镇俱巷路136号3号房
IPC主分类号：
C23C14/56
IPC分类号：
C23C14/08 C23C14/35
代理机构：
苏州尚汇专利代理事务所(普通合伙) 32809
代理人：
程开生
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省 苏州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-18 授权 授权
2025-06-20 专利申请权、专利权的转移 专利权的转移IPC(主分类):C23C 14/56登记生效日:20250605变更事项:专利权人变更前权利人:昆山浦元真空技术工程有限公司变更后权利人:东部超导科技（苏州）有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:215000 江苏省苏州市昆山市张浦镇俱巷路136号3号房变更后权利人:215000 江苏省苏州市吴江区江陵街道大兢路518号
共 50 条
[1]
一种卷对卷真空镀膜设备 [P]. 
张俊峰 ;
赵子东 ;
许春立 ;
张大剑 .
中国专利 :CN209260195U ,2019-08-16
[2]
双面卷对卷真空镀膜设备 [P]. 
唐世杰 ;
王启任 .
中国专利 :CN202187062U ,2012-04-11
[3]
真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P]. 
杨海成 .
中国专利 :CN216614834U ,2022-05-27
[4]
真空镀膜腔室和真空镀膜设备 [P]. 
左国军 ;
梁建军 ;
朱海剑 ;
杨虎 .
中国专利 :CN216006008U ,2022-03-11
[5]
真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P]. 
徐悦 .
中国专利 :CN209039569U ,2019-06-28
[6]
一种新型真空容器结构的卷对卷真空镀膜设备 [P]. 
朱刚毅 ;
朱刚劲 .
中国专利 :CN216891198U ,2022-07-05
[7]
卷对卷连续真空镀膜生产机 [P]. 
张浙军 .
中国专利 :CN202530158U ,2012-11-14
[8]
并行卷对卷真空镀膜系统及真空镀膜方法 [P]. 
傅广生 ;
刘海旭 ;
于威 ;
杨彦斌 ;
李云 ;
路万兵 ;
王春生 .
中国专利 :CN106048562B ,2016-10-26
[9]
一种卷对卷磁控溅射真空镀膜装置 [P]. 
向勇 ;
傅绍英 ;
胡杨 ;
杨小军 .
中国专利 :CN205688003U ,2016-11-16
[10]
有掩膜功能的卷对卷真空镀膜设备 [P]. 
成林 .
中国专利 :CN115522178A ,2022-12-27
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