使用静电吸附的搬运装置和使用静电吸附的搬运方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910090156.6

申请日：

2019-01-30

公开(公告)号：

CN110127379A

公开(公告)日：

2019-08-16

发明(设计)人：

久野裕彦

申请人：

申请人地址：

日本爱知县

IPC主分类号：

B65G5402

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李洋;王培超

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B65G 54/02 申请日:20190130
2019-08-16	公开	公开
2021-06-11	授权	授权

共 50 条

[1]

静电卡盘装置和静电吸附方法 [P].

松崎荣 .

中国专利 :CN108242421B ,2018-07-03

[2]

静电吸附装置和晶圆吸附方法 [P].

罗艳杰 ;

董智超 ;

陈倩男 ;

孟颖 ;

胡淼龙 .

中国专利 :CN114141682A ,2022-03-04

[3]

静电吸附装置和晶圆吸附方法 [P].

罗艳杰 ;

董智超 ;

陈倩男 ;

孟颖 ;

胡淼龙 .

中国专利 :CN114141682B ,2025-10-14

[4]

吸附搬运装置 [P].

岩佐卓也 ;

横田祐嗣 ;

西辻悟史 ;

德田史贵 .

中国专利 :CN111942653A ,2020-11-17

[5]

静电吸附设备以及静电吸附方法 [P].

齐藤滋规 ;

凌智宽 ;

田冈祐树 ;

许三川 .

日本专利 :CN117837075A ,2024-04-05

[6]

静电吸附方法 [P].

平井克典 ;

佐佐木康晴 .

中国专利 :CN109148349A ,2019-01-04

[7]

静电吸附装置 [P].

石宇森 .

中国专利 :CN1994839A ,2007-07-11

[8]

静电吸附装置 [P].

徐绍宸 ;

李富海 ;

鲍晓亮 ;

蒉张涛 ;

魏继江 .

中国专利 :CN211890875U ,2020-11-10

[9]

静电吸附装置 [P].

张生 ;

方青 ;

王宁威 ;

邢俊杰 ;

林清俊 ;

李晓东 ;

康钊 .

中国专利 :CN203063009U ,2013-07-17

[10]

静电吸附装置 [P].

杨新林 .

中国专利 :CN217747496U ,2022-11-08

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