静电吸附装置和晶圆吸附方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111356477.X

申请日：

2021-11-16

公开(公告)号：

CN114141682B

公开(公告)日：

2025-10-14

发明(设计)人：

罗艳杰董智超陈倩男孟颖胡淼龙

申请人：

长江存储科技有限责任公司

申请人地址：

430074 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

代理机构：

北京成创同维知识产权代理有限公司 11449

代理人：

蔡纯;张靖琳

法律状态：

授权

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-14	授权	授权

共 50 条

[1]

静电吸附装置和晶圆吸附方法 [P].

罗艳杰 ;

董智超 ;

陈倩男 ;

孟颖 ;

胡淼龙 .

中国专利 :CN114141682A ,2022-03-04

[2]

静电吸附装置及晶圆吸附方法 [P].

胡淼龙 ;

罗兴安 ;

詹昶 .

中国专利 :CN110556332B ,2019-12-10

[3]

半导体晶圆静电吸附装置 [P].

李鹏飞 ;

高世鹏 ;

傅斌 ;

汤幸 ;

李万里 .

中国专利 :CN118335674A ,2024-07-12

[4]

晶圆吸附装置、晶圆吸附系统及方法 [P].

林锺吉 .

中国专利 :CN118471888A ,2024-08-09

[5]

静电吸附装置 [P].

韩平 ;

潘立刚 ;

马智宏 ;

陆安祥 ;

王纪华 ;

张睿 .

中国专利 :CN201628652U ,2010-11-10

[6]

静电吸附装置 [P].

姚恒山 ;

姜玮 ;

沈子扬 ;

付大勇 ;

孟光辉 .

中国专利 :CN222813577U ,2025-04-29

[7]

晶圆处理装置及静电吸附方法 [P].

大村俊辅 ;

井上真辅 ;

赵维江 .

日本专利 :CN120727642A ,2025-09-30

[8]

晶圆吸附装置、晶圆吸附方法及检测设备 [P].

李海龙 ;

林飞 ;

向富豪 ;

余先勇 ;

周国栋 .

中国专利 :CN119725206A ,2025-03-28

[9]

晶圆吸附装置 [P].

许志雄 .

中国专利 :CN112420586A ,2021-02-26

[10]

晶圆吸附装置 [P].

孙雪峰 ;

肖凌峰 ;

黎恩源 .

中国专利 :CN220672554U ,2024-03-26

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