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一种晶片清洗干燥装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022674409.5
申请日：
2020-11-18
公开(公告)号：
CN213716844U
公开(公告)日：
2021-07-16
发明(设计)人：
毕洪伟
周一
申请人：
申请人地址：
404040 重庆市万州区万州经开区高峰园B02
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
广州市华学知识产权代理有限公司 44245
代理人：
张晨
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-16 | 授权 | 授权 |