一种晶片清洗干燥架

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920209718.6

申请日：

2009-09-15

公开(公告)号：

CN201498504U

公开(公告)日：

2010-06-02

发明(设计)人：

黄维陈之战施尔畏

申请人：

申请人地址：

200050 上海市长宁区定西路1295号

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

F26B2500 B08B1300

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

许亦琳;余明伟

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101632306803 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2009202097186 申请日:20090915 授权公告日:20100602 终止日期:20140915
2011-11-23	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101217507775 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2009202097186 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院上海硅酸盐研究所变更后权利人:上海硅酸盐研究所中试基地变更事项:地址变更前权利人:200050 上海市长宁区定西路1295号变更后权利人:201800 上海市嘉定区城北路215号变更事项:共同专利权人变更前权利人:无变更后权利人:中国科学院上海硅酸盐研究所登记生效日:20111014
2010-06-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶片清洗架 [P].

王含冠 ;

梁庆瑞 ;

王瑞 ;

李鹏 ;

陈龙 ;

徐殿翔 .

中国专利 :CN211125589U ,2020-07-28

[2]

一种晶片清洗干燥槽 [P].

耿彪 .

中国专利 :CN216937370U ,2022-07-12

[3]

一种晶片清洗干燥装置 [P].

毕洪伟 ;

周一 .

中国专利 :CN213716844U ,2021-07-16

[4]

一种自干燥半导体晶片清洗装置 [P].

张唐魁 .

中国专利 :CN208256637U ,2018-12-18

[5]

一种晶片清洗干燥机 [P].

葛林五 ;

李杰 ;

丁高生 ;

陈景韶 ;

葛林新 .

中国专利 :CN209998007U ,2020-01-31

[6]

一种用于晶片清洗的晶片放置架 [P].

王祖勇 .

中国专利 :CN216054610U ,2022-03-15

[7]

晶片防碎清洗架 [P].

张学炎 .

中国专利 :CN201975374U ,2011-09-14

[8]

一种清洗干燥晶片用的花篮 [P].

陈景韶 ;

葛林五 ;

葛林新 ;

李杰 ;

丁高生 .

中国专利 :CN209607712U ,2019-11-08

[9]

一种晶片清洗槽 [P].

余涛 ;

唐杰 ;

朴灵绪 ;

张霞 .

中国专利 :CN210936194U ,2020-07-07

[10]

一种晶片清洗腔 [P].

余涛 ;

唐杰 ;

朴灵绪 ;

张霞 .

中国专利 :CN210516680U ,2020-05-12

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