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一种自干燥半导体晶片清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820995693.6
申请日：
2018-06-25
公开(公告)号：
CN208256637U
公开(公告)日：
2018-12-18
发明(设计)人：
张唐魁
申请人：
申请人地址：
231500 安徽省合肥市庐江县经济开发区
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-12-18 | 授权 | 授权 |