一种用于晶片清洗的晶片放置架

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专利类型
实用新型
申请号
CN202121624092.2
申请日
2021-07-16
公开(公告)号
CN216054610U
公开(公告)日
2022-03-15
发明(设计)人
王祖勇
申请人
申请人地址
314001 浙江省嘉兴市南湖区余新镇镇北路23号
IPC主分类号
H01L21673
IPC分类号
代理机构
杭州杭诚专利事务所有限公司 33109
代理人
尉伟敏
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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