磷扩散炉炉管炉帽

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310018277.2
申请日
2013-01-17
公开(公告)号
CN103103614A
公开(公告)日
2013-05-15
发明(设计)人
陈功
申请人
申请人地址
313100 浙江省湖州市长兴县县前东街1299号
IPC主分类号
C30B3116
IPC分类号
H01L21223
代理机构
杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217
代理人
胡根良
法律状态
发明专利申请公布后的驳回
国省代码
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共 50 条
[1]
磷扩散炉炉管炉帽 [P]. 
陈功 .
中国专利 :CN203007485U ,2013-06-19
[2]
扩散炉管及扩散炉 [P]. 
王诗涛 .
中国专利 :CN109112636A ,2019-01-01
[3]
扩散炉管及扩散炉 [P]. 
王诗涛 .
中国专利 :CN209052804U ,2019-07-02
[4]
扩散炉管及扩散炉 [P]. 
黄建育 .
中国专利 :CN221254782U ,2024-07-02
[5]
石英炉管及扩散炉 [P]. 
于越 ;
任伟彬 ;
刘向雨 ;
牛忠坪 ;
孙婷婷 .
中国专利 :CN222374836U ,2025-01-21
[6]
扩散炉用石英炉管 [P]. 
吴俊 ;
张凯胜 ;
姚伟忠 .
中国专利 :CN206736407U ,2017-12-12
[7]
磷扩散炉抽风管 [P]. 
陈功 .
中国专利 :CN103103617A ,2013-05-15
[8]
磷扩散炉抽风管 [P]. 
陈功 .
中国专利 :CN203007491U ,2013-06-19
[9]
炉管组件及扩散炉 [P]. 
刘志强 ;
严健 ;
杨均炎 ;
费正洪 .
中国专利 :CN208803162U ,2019-04-30
[10]
扩散炉保温帽 [P]. 
叶宗桂 ;
于祝鹏 .
中国专利 :CN201198500Y ,2009-02-25