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一种晶圆加工用切面抛光装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011306260.3
申请日：
2020-11-19
公开(公告)号：
CN112476100A
公开(公告)日：
2021-03-12
发明(设计)人：
钟进锋
申请人：
申请人地址：
510700 广东省广州市黄埔区科学大道112号(A1栋及地下车库)306房
IPC主分类号：
B24B722
IPC分类号：
B24B5506
B24B4102
代理机构：
广东省畅欣知识产权代理事务所(普通合伙) 44631
代理人：
齐军彩
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 7/22 申请日:20201119 |
| 2021-03-12 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-27 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):B24B 7/22 申请公布日:20210312 |