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一种晶圆加工用切面抛光装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921392876.X
申请日：
2019-08-26
公开(公告)号：
CN210588710U
公开(公告)日：
2020-05-22
发明(设计)人：
顾泉
申请人：
申请人地址：
226100 江苏省南通市海门市海门镇富江南路698号内9号房
IPC主分类号：
B24B2902
IPC分类号：
B24B4106
B24B4102
B24B5100
代理机构：
成都明涛智创专利代理有限公司 51289
代理人：
吴建龙
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-22 | 授权 | 授权 |