碳化硅单晶生长装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120795447.8

申请日：

2021-04-19

公开(公告)号：

CN215163307U

公开(公告)日：

2021-12-14

发明(设计)人：

付芬张洁王旻峰邓树军汪良

申请人：

申请人地址：

362200 福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦

IPC主分类号：

C30B2936

IPC分类号：

C30B2300

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

刘曾

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-14	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅单晶生长装置 [P].

伍艳 ;

周亮亮 ;

叶磊 ;

王震威 ;

高玉强 .

中国专利 :CN222594075U ,2025-03-11

[2]

碳化硅单晶生长装置 [P].

裴悠松 ;

徐洙莹 ;

李钟海 .

中国专利 :CN112126975A ,2020-12-25

[3]

碳化硅单晶生长装置 [P].

裴悠松 ;

徐洙莹 ;

李钟海 .

中国专利 :CN213538159U ,2021-06-25

[4]

碳化硅单晶生长装置 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

占俊杰 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN210856410U ,2020-06-26

[5]

碳化硅单晶生长装置 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

占俊杰 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN210856411U ,2020-06-26

[6]

碳化硅单晶生长装置 [P].

崔殿鹏 .

中国专利 :CN111748843B ,2020-10-09

[7]

碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶制备设备 [P].

陈泽斌 ;

张洁 ;

廖弘基 ;

陈华荣 .

中国专利 :CN109629001A ,2019-04-16

[8]

碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶制备设备 [P].

陈泽斌 ;

张洁 ;

廖弘基 ;

陈华荣 .

中国专利 :CN109576792A ,2019-04-05

[9]

碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶制备设备 [P].

陈泽斌 ;

张洁 ;

廖弘基 ;

陈华荣 .

中国专利 :CN109629000A ,2019-04-16

[10]

碳化硅单晶生长装置及制造碳化硅单晶的方法 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

占俊杰 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN110331437B ,2019-10-15

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