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洁净室工艺辅料集成控制系统
被引：0
申请号：
CN202220303534.1
申请日：
2022-02-15
公开(公告)号：
CN216697062U
公开(公告)日：
2022-06-07
发明(设计)人：
崔静涛
向泽锐
申请人：
申请人地址：
610000 四川省成都市锦江区书院西街1#-33#10楼5号
IPC主分类号：
G05B19418
IPC分类号：
代理机构：
四川省成都市天策商标专利事务所(有限合伙) 51213
代理人：
赵以鹏
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-06-07 | 授权 | 授权 |