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洁净室工艺辅料集成控制系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210139004.2
申请日：
2022-02-15
公开(公告)号：
CN114510000B
公开(公告)日：
2025-12-16
发明(设计)人：
崔静涛
向泽锐
申请人：
四川科特空调净化有限责任公司
申请人地址：
610000 四川省成都市锦江区书院西街1#-33#10楼5号
IPC主分类号：
G05B19/418
IPC分类号：
代理机构：
四川省天策知识产权代理有限公司 51213
代理人：
赵以鹏
法律状态：
授权
国省代码：
四川省
成都市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-16 | 授权 | 授权 |