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一种含气体保护的晶圆真空吸附旋转装置

被引：0
申请号：
CN202210446129.X
申请日：
2022-04-26
公开(公告)号：
CN114743918A
公开(公告)日：
2022-07-12
发明(设计)人：
郑煜 谢星浩 成杰 谢万胜 段吉安
申请人：
申请人地址：
410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
长沙启昊知识产权代理事务所(普通合伙) 43266
代理人：
谢珍贵
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-07-29 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20220426
2022-07-12 公开 公开
共 50 条
[1]
一种含气体保护的晶圆真空吸附旋转装置 [P]. 
郑煜 ;
谢星浩 ;
成杰 ;
谢万胜 ;
段吉安 .
中国专利 :CN114743918B ,2025-05-02
[2]
一种晶圆真空吸附保护装置 [P]. 
衣忠波 ;
贺东葛 ;
黄卫国 ;
李远航 .
中国专利 :CN117672947A ,2024-03-08
[3]
晶圆真空载具以及晶圆真空吸附系统 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN210575887U ,2020-05-19
[4]
晶圆真空载具、晶圆真空吸附系统、方法及装置 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN112582326A ,2021-03-30
[5]
一种晶圆高速旋转真空吸附主轴 [P]. 
魏猛 ;
张爽 .
中国专利 :CN209071304U ,2019-07-05
[6]
一种晶圆高速旋转真空吸附主轴 [P]. 
魏猛 ;
张爽 .
中国专利 :CN109461692A ,2019-03-12
[7]
晶圆真空吸附手指及晶圆搬运设备 [P]. 
陈思乡 ;
杜振东 ;
雷传 ;
徐焕 ;
孟恒 .
中国专利 :CN221573900U ,2024-08-20
[8]
晶圆真空吸附手指及晶圆搬运设备 [P]. 
陈思乡 ;
杜振东 ;
雷传 ;
徐焕 ;
孟恒 .
中国专利 :CN221861620U ,2024-10-18
[9]
一种晶圆真空吸附贴蜡装置及方法 [P]. 
蒋盛翔 ;
付建波 ;
宗华 ;
孟令海 ;
胡晓东 ;
罗郑彪 .
中国专利 :CN120319712A ,2025-07-15
[10]
一种可真空吸附的旋转装置 [P]. 
董松直 .
中国专利 :CN216180286U ,2022-04-05
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