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一种晶圆高速旋转真空吸附主轴
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811599206.5
申请日：
2018-12-26
公开(公告)号：
CN109461692A
公开(公告)日：
2019-03-12
发明(设计)人：
魏猛
张爽
申请人：
申请人地址：
110180 辽宁省沈阳市浑南区文溯街19-3号203-40室
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234
代理人：
孙奇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20181226 |
| 2019-03-12 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-06 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/683 变更事项:发明人 变更前:魏猛 张爽 变更后:魏猛 |