一种复合晶圆保护膜及其制备方法

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申请号
CN202210492681.2
申请日
2022-05-07
公开(公告)号
CN114774020A
公开(公告)日
2022-07-22
发明(设计)人
李政 张强
申请人
申请人地址
528000 广东省佛山市顺德区杏坛镇百安路北水工业区
IPC主分类号
C09J729
IPC分类号
C09J738
代理机构
佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379
代理人
何慧敏;单蕴倩
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种复合晶圆保护膜及其制备方法 [P]. 
李政 ;
张强 .
中国专利 :CN114774020B ,2024-01-30
[2]
一种复合晶圆保护膜 [P]. 
李政 ;
张强 .
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[4]
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[5]
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[9]
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[10]
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