一种锥面传输功率的旋转阴极端头

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申请号
CN202222260369.9
申请日
2022-08-26
公开(公告)号
CN217922288U
公开(公告)日
2022-11-29
发明(设计)人
游锦山
申请人
申请人地址
230061 安徽省合肥市高新区习友路1799号4幢1层和2层
IPC主分类号
C23C1435
IPC分类号
代理机构
安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112
代理人
余成俊
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
内置旋转阴极端头 [P]. 
朱世元 ;
闫乃明 .
中国专利 :CN305820783S ,2020-06-02
[2]
一种用于观测旋转阴极端头的可视结构 [P]. 
王桂荣 ;
易立 ;
徐浩 ;
张朝晖 .
中国专利 :CN211005605U ,2020-07-14
[3]
一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头 [P]. 
黄毓彬 .
中国专利 :CN213895983U ,2021-08-06
[4]
一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头 [P]. 
邵海平 .
中国专利 :CN204265834U ,2015-04-15
[5]
磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头 [P]. 
刘杰 ;
来华杭 ;
施成亮 ;
周海龙 ;
俞峰 .
中国专利 :CN211814636U ,2020-10-30
[6]
一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构 [P]. 
黄毓彬 .
中国专利 :CN213570713U ,2021-06-29
[7]
一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头 [P]. 
邵海平 .
中国专利 :CN104357802A ,2015-02-18
[8]
一种阴极端头主旋转轴的拆装工具 [P]. 
孙洁 ;
刘成林 .
中国专利 :CN208773456U ,2019-04-23
[9]
内置旋转阴极端头(E150、E164) [P]. 
朱世元 ;
潘朝刚 .
中国专利 :CN309505906S ,2025-09-19
[10]
内置旋转阴极端头(E108、E103) [P]. 
朱世元 ;
潘朝刚 .
中国专利 :CN309468788S ,2025-08-29