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一种锥面传输功率的旋转阴极端头
被引:0
申请号
:
CN202222260369.9
申请日
:
2022-08-26
公开(公告)号
:
CN217922288U
公开(公告)日
:
2022-11-29
发明(设计)人
:
游锦山
申请人
:
申请人地址
:
230061 安徽省合肥市高新区习友路1799号4幢1层和2层
IPC主分类号
:
C23C1435
IPC分类号
:
代理机构
:
安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112
代理人
:
余成俊
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-11-29
授权
授权
共 50 条
[1]
内置旋转阴极端头
[P].
朱世元
论文数:
0
引用数:
0
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0
朱世元
;
闫乃明
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闫乃明
.
中国专利
:CN305820783S
,2020-06-02
[2]
一种用于观测旋转阴极端头的可视结构
[P].
王桂荣
论文数:
0
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0
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0
王桂荣
;
易立
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易立
;
徐浩
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徐浩
;
张朝晖
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张朝晖
.
中国专利
:CN211005605U
,2020-07-14
[3]
一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头
[P].
黄毓彬
论文数:
0
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0
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0
黄毓彬
.
中国专利
:CN213895983U
,2021-08-06
[4]
一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头
[P].
邵海平
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0
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0
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0
邵海平
.
中国专利
:CN204265834U
,2015-04-15
[5]
磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头
[P].
刘杰
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刘杰
;
来华杭
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来华杭
;
施成亮
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施成亮
;
周海龙
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周海龙
;
俞峰
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俞峰
.
中国专利
:CN211814636U
,2020-10-30
[6]
一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构
[P].
黄毓彬
论文数:
0
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黄毓彬
.
中国专利
:CN213570713U
,2021-06-29
[7]
一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头
[P].
邵海平
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0
邵海平
.
中国专利
:CN104357802A
,2015-02-18
[8]
一种阴极端头主旋转轴的拆装工具
[P].
孙洁
论文数:
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0
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孙洁
;
刘成林
论文数:
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刘成林
.
中国专利
:CN208773456U
,2019-04-23
[9]
内置旋转阴极端头(E150、E164)
[P].
朱世元
论文数:
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0
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机构:
金耀真空设备(中山)有限公司
金耀真空设备(中山)有限公司
朱世元
;
潘朝刚
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机构:
金耀真空设备(中山)有限公司
金耀真空设备(中山)有限公司
潘朝刚
.
中国专利
:CN309505906S
,2025-09-19
[10]
内置旋转阴极端头(E108、E103)
[P].
朱世元
论文数:
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机构:
金耀真空设备(中山)有限公司
金耀真空设备(中山)有限公司
朱世元
;
潘朝刚
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机构:
金耀真空设备(中山)有限公司
金耀真空设备(中山)有限公司
潘朝刚
.
中国专利
:CN309468788S
,2025-08-29
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