一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420657711.1

申请日：

2014-11-06

公开(公告)号：

CN204265834U

公开(公告)日：

2015-04-15

发明(设计)人：

邵海平

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙岗区宝龙大道宝清路华丰数码科技园7栋

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

深圳市千纳专利代理有限公司 44218

代理人：

黄良宝

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-15	授权	授权
2017-11-14	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20141106 授权公告日:20150415 放弃生效日:20171114

共 50 条

[1]

一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头 [P].

邵海平 .

中国专利 :CN104357802A ,2015-02-18

[2]

内置旋转阴极端头 [P].

朱世元 ;

闫乃明 .

中国专利 :CN305820783S ,2020-06-02

[3]

磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头 [P].

刘杰 ;

来华杭 ;

施成亮 ;

周海龙 ;

俞峰 .

中国专利 :CN211814636U ,2020-10-30

[4]

一种锥面传输功率的旋转阴极端头 [P].

游锦山 .

中国专利 :CN217922288U ,2022-11-29

[5]

一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头 [P].

黄毓彬 .

中国专利 :CN213895983U ,2021-08-06

[6]

一种用于观测旋转阴极端头的可视结构 [P].

王桂荣 ;

易立 ;

徐浩 ;

张朝晖 .

中国专利 :CN211005605U ,2020-07-14

[7]

一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构 [P].

黄毓彬 .

中国专利 :CN213570713U ,2021-06-29

[8]

内置旋转阴极端头（E150、E164） [P].

朱世元 ;

潘朝刚 .

中国专利 :CN309505906S ,2025-09-19

[9]

内置旋转阴极端头（E108、E103） [P].

朱世元 ;

潘朝刚 .

中国专利 :CN309468788S ,2025-08-29

[10]

内置旋转阴极端头（E140、E140A） [P].

朱世元 ;

潘朝刚 .

中国专利 :CN309468787S ,2025-08-29

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