硅片图形缺陷在线检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610147327.7

申请日：

2006-12-15

公开(公告)号：

CN101201328A

公开(公告)日：

2008-06-18

发明(设计)人：

张可钢龚新军

申请人：

申请人地址：

201206上海市浦东新区川桥路1188号

IPC主分类号：

G01N2318

IPC分类号：

G01R31305

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司

代理人：

顾继光

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-08-13	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-06-18	公开	公开
2011-11-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101215939170 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2006101473277 公开日:20080618

共 50 条

[1]

镍侵蚀缺陷在线检测方法 [P].

范荣伟 ;

王恺 ;

龙吟 ;

倪棋梁 ;

陈宏璘 .

中国专利 :CN103545231A ,2014-01-29

[2]

表面缺陷在线检测系统及方法 [P].

陈俊 ;

张劲劲 ;

张凤德 ;

于宏伟 ;

李栋栋 .

中国专利 :CN109632815A ,2019-04-16

[3]

铜连接孔刻蚀不足缺陷在线检测方法 [P].

范荣伟 ;

袁增艺 ;

龙吟 ;

倪棋梁 ;

陈宏璘 .

中国专利 :CN103811369A ,2014-05-21

[4]

苹果表面缺陷在线检测方法及装置 [P].

张驰 ;

梁晓婷 ;

樊书祥 ;

何鑫 ;

田喜 ;

黄文倩 .

中国专利 :CN114119490B ,2025-04-04

[5]

苹果表面缺陷在线检测方法及装置 [P].

张驰 ;

梁晓婷 ;

樊书祥 ;

何鑫 ;

田喜 ;

黄文倩 .

中国专利 :CN114119490A ,2022-03-01

[6]

活性炭成型缺陷在线检测方法、装置 [P].

陈海峰 ;

陈海文 ;

刘兴 .

中国专利 :CN120673944B ,2025-11-04

[7]

镀膜玻璃薄膜缺陷在线检测方法与装置 [P].

陆卫 ;

王少伟 ;

俞立明 ;

邹娟娟 ;

王晓芳 ;

陈效双 .

中国专利 :CN101832945A ,2010-09-15

[8]

金属板缺陷在线检测方法及装置 [P].

吴晓松 ;

周向前 ;

吕永新 ;

袁杰 ;

吴奇文 .

中国专利 :CN101788502B ,2010-07-28

[9]

活性炭成型缺陷在线检测方法、装置 [P].

陈海峰 ;

陈海文 ;

刘兴 .

中国专利 :CN120673944A ,2025-09-19

[10]

基于机器视觉的竹条缺陷在线检测方法 [P].

秦现生 ;

贺峰 ;

刘琼 ;

蔡勇 ;

宋昕 ;

宫养飞 .

中国专利 :CN101320004A ,2008-12-10

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