铜连接孔刻蚀不足缺陷在线检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310495436.8

申请日：

2013-10-21

公开(公告)号：

CN103811369A

公开(公告)日：

2014-05-21

发明(设计)人：

范荣伟袁增艺龙吟倪棋梁陈宏璘

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;林彦之

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-21	公开	公开
2016-09-07	授权	授权
2014-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583084394 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2013104954368 申请日:20131021

共 50 条

[1]

镍侵蚀缺陷在线检测方法 [P].

范荣伟 ;

王恺 ;

龙吟 ;

倪棋梁 ;

陈宏璘 .

中国专利 :CN103545231A ,2014-01-29

[2]

硅片图形缺陷在线检测方法 [P].

张可钢 ;

龚新军 .

中国专利 :CN101201328A ,2008-06-18

[3]

检测首层金属刻蚀不足缺陷的方法 [P].

范荣伟 ;

陈宏璘 ;

龙吟 ;

顾晓芳 .

中国专利 :CN106206354A ,2016-12-07

[4]

通过刻蚀不足缺陷检测多晶硅与连接孔对准度的方法 [P].

范荣伟 ;

陈宏璘 ;

龙吟 ;

顾晓芳 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN104134619B ,2014-11-05

[5]

表面缺陷在线检测系统及方法 [P].

陈俊 ;

张劲劲 ;

张凤德 ;

于宏伟 ;

李栋栋 .

中国专利 :CN109632815A ,2019-04-16

[6]

苹果表面缺陷在线检测方法及装置 [P].

张驰 ;

梁晓婷 ;

樊书祥 ;

何鑫 ;

田喜 ;

黄文倩 .

中国专利 :CN114119490B ,2025-04-04

[7]

苹果表面缺陷在线检测方法及装置 [P].

张驰 ;

梁晓婷 ;

樊书祥 ;

何鑫 ;

田喜 ;

黄文倩 .

中国专利 :CN114119490A ,2022-03-01

[8]

一种通孔刻蚀不足的检测方法 [P].

范荣伟 ;

陈宏璘 ;

龙吟 ;

顾晓芳 .

中国专利 :CN104078379B ,2014-10-01

[9]

一种通孔刻蚀不足的检测方法 [P].

范荣伟 ;

陈宏璘 ;

龙吟 ;

顾晓芳 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN104091769A ,2014-10-08

[10]

一种金属弧形工件表面缺陷在线检测方法 [P].

印学浩 ;

尹加豹 ;

李超 ;

朱涛 ;

崔凯华 ;

李庆 ;

王文俊 ;

赵曰昶 ;

徐骞 ;

邓超 .

中国专利 :CN109682839A ,2019-04-26

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