光刻设备和制造器件的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610169059.9

申请日：

2006-12-20

公开(公告)号：

CN1987657B

公开(公告)日：

2007-06-27

发明(设计)人：

T·F·森杰斯 N·A·A·J·范阿斯坦 W·J·伯西 T·A·R·范恩佩尔 L·M·勒瓦斯尔 E·R·卢普斯特拉 M·J·E·H·穆特杰斯 L·奥维汉德 L·J·M·范登舒尔 M·贝克斯 R·詹森 E·范洛恩侯特

申请人：

申请人地址：

荷兰费尔德霍芬

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王波波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-01-07	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-10-10	授权	授权
2007-06-27	公开	公开

共 50 条

[1]

制造器件的方法和光刻设备 [P].

H·J·M·梅杰尔 ;

M·J·M·林肯斯 .

中国专利 :CN101595431A ,2009-12-02

[2]

光刻设备和制造器件的方法 [P].

W·O·普里尔 ;

E·A·F·范德帕斯奇 ;

R·F·狄龙 ;

P·D·肯肖 .

中国专利 :CN1503059B ,2004-06-09

[3]

光刻设备和制造器件的方法 [P].

J·A·维埃拉萨拉斯 ;

A·J·贝恩 ;

V·M·布兰科卡巴洛 .

中国专利 :CN109716238A ,2019-05-03

[4]

光刻设备及制造器件的方法 [P].

G·纳齐博格鲁 .

中国专利 :CN107407892B ,2017-11-28

[5]

光刻设备和制造器件的方法 [P].

J·J·M·巴塞曼斯 ;

A·J·布里克 ;

P·W·H·德贾格 ;

K·Z·特鲁斯特 .

中国专利 :CN1737688A ,2006-02-22

[6]

光刻设备和制造器件的方法 [P].

N·J·M·范德纽维拉尔 ;

V·M·布兰科卡巴洛 ;

C·R·德格鲁特 ;

R·H·J·屈斯泰 ;

D·M·菲利普斯 ;

F·A·范德桑德 ;

P·L·J·岗特尔 ;

E·H·E·C·尤姆麦伦 ;

Y·J·G·范德维基沃尔 ;

B·D·斯霍尔滕 ;

M·武泰 ;

R·F·科克斯 ;

J·A·维埃拉萨拉斯 .

中国专利 :CN106716255A ,2017-05-24

[7]

光刻设备和制造器件的方法 [P].

简·伯纳德·普莱彻尔墨斯·范斯库特 ;

S·比林 ;

M·恩德林斯 ;

M·M·埃斯卡兰特 ;

T·格鲁纳 ;

L·维施迈尔 .

中国专利 :CN106575085B ,2017-04-19

[8]

光刻设备以及使用光刻设备制造器件的方法 [P].

G·L·加托比吉奥 ;

E·H·E·C·尤梅伦 ;

R·奥莱斯拉格斯 ;

G·皮特塞 ;

C·M·洛普斯 ;

L·J·A·范博克霍温 .

中国专利 :CN106575084A ,2017-04-19

[9]

光刻设备、控制该设备的方法和使用光刻设备制造器件的方法 [P].

D·J·M·迪莱克斯 ;

N·R·凯姆波 ;

D·M·H·菲利普斯 ;

M·瑞鹏 ;

C·J·G·范德顿根 ;

M·A·C·斯凯皮斯 .

中国专利 :CN101923291B ,2010-12-22

[10]

光刻设备和器件制造方法 [P].

H·巴特勒 ;

M·J·沃奥尔戴尔冬克 ;

M·W·J·E·威吉克曼斯 .

中国专利 :CN110268332A ,2019-09-20

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