等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810168380.4

申请日：

2006-03-31

公开(公告)号：

CN101431854A

公开(公告)日：

2009-05-13

发明(设计)人：

松本直树舆水地盐舆石公

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01J3732 H01L213065

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-01	授权	授权
2009-05-13	公开	公开
2009-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

等离子体处理装置 [P].

泽田郁夫 ;

P·芬泽克 ;

大下辰郎 ;

松崎和爱 ;

康松润 .

中国专利 :CN101601125B ,2009-12-09

[2]

等离子体处理装置和方法 [P].

舆石公 ;

杉本胜 ;

日向邦彦 ;

小林典之 ;

舆水地盐 ;

大谷龙二 ;

吉备和雄 ;

齐藤昌司 ;

松本直树 ;

大矢欣伸 ;

岩田学 ;

矢野大介 ;

山泽阳平 ;

花冈秀敏 ;

速水利泰 ;

山崎广树 ;

佐藤学 .

中国专利 :CN102263001B ,2011-11-30

[3]

等离子体处理装置和方法 [P].

舆石公 ;

杉本胜 ;

日向邦彦 ;

小林典之 ;

舆水地盐 ;

大谷龙二 ;

吉备和雄 ;

齐藤昌司 ;

松本直树 ;

大矢欣伸 ;

岩田学 ;

矢野大介 ;

山泽阳平 ;

花冈秀敏 ;

速水利泰 ;

山崎广树 ;

佐藤学 .

中国专利 :CN102256432A ,2011-11-23

[4]

等离子体处理装置和方法 [P].

舆石公 ;

日向邦彦 ;

大谷龙二 ;

松本直树 ;

矢野大介 ;

速水利泰 ;

杉本胜 ;

小林典之 ;

吉备和雄 ;

大矢欣伸 ;

山泽阳平 ;

山崎广树 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

岩田学 ;

花冈秀敏 ;

佐藤学 .

中国专利 :CN1984523B ,2007-06-20

[5]

等离子体处理装置和方法 [P].

舆石公 ;

杉本胜 ;

日向邦彦 ;

小林典之 ;

舆水地盐 ;

大谷龙二 ;

吉备和雄 ;

齐藤昌司 ;

松本直树 ;

大矢欣伸 ;

岩田学 ;

矢野大介 ;

山泽阳平 ;

花冈秀敏 ;

速水利泰 ;

山崎广树 ;

佐藤学 .

中国专利 :CN102256431A ,2011-11-23

[6]

等离子体处理装置和方法 [P].

舆石公 ;

日向邦彦 ;

大谷龙二 ;

松本直树 ;

矢野大介 ;

速水利泰 ;

杉本胜 ;

小林典之 ;

吉备和雄 ;

大矢欣伸 ;

山泽阳平 ;

山崎广树 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

岩田学 ;

花冈秀敏 ;

佐藤学 .

中国专利 :CN1983518A ,2007-06-20

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

[8]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

本田昌伸 .

中国专利 :CN102209426B ,2011-10-05

[9]

等离子体处理方法 [P].

西岛贵史 .

中国专利 :CN107424899A ,2017-12-01

[10]

等离子体处理装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN101552188B ,2009-10-07

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