等离子体处理装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110206223.X

申请日：

2005-06-21

公开(公告)号：

CN102256432A

公开(公告)日：

2011-11-23

发明(设计)人：

舆石公杉本胜日向邦彦小林典之舆水地盐大谷龙二吉备和雄齐藤昌司松本直树大矢欣伸岩田学矢野大介山泽阳平花冈秀敏速水利泰山崎广树佐藤学

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01L21311

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101165557287 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:201110206223X 申请日:20050621
2011-11-23	公开	公开
2014-10-29	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和方法 [P].

舆石公 ;

杉本胜 ;

日向邦彦 ;

小林典之 ;

舆水地盐 ;

大谷龙二 ;

吉备和雄 ;

齐藤昌司 ;

松本直树 ;

大矢欣伸 ;

岩田学 ;

矢野大介 ;

山泽阳平 ;

花冈秀敏 ;

速水利泰 ;

山崎广树 ;

佐藤学 .

中国专利 :CN102263001B ,2011-11-30

[2]

等离子体处理装置和方法 [P].

舆石公 ;

日向邦彦 ;

大谷龙二 ;

松本直树 ;

矢野大介 ;

速水利泰 ;

杉本胜 ;

小林典之 ;

吉备和雄 ;

大矢欣伸 ;

山泽阳平 ;

山崎广树 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

岩田学 ;

花冈秀敏 ;

佐藤学 .

中国专利 :CN1984523B ,2007-06-20

[3]

等离子体处理装置和方法 [P].

舆石公 ;

杉本胜 ;

日向邦彦 ;

小林典之 ;

舆水地盐 ;

大谷龙二 ;

吉备和雄 ;

齐藤昌司 ;

松本直树 ;

大矢欣伸 ;

岩田学 ;

矢野大介 ;

山泽阳平 ;

花冈秀敏 ;

速水利泰 ;

山崎广树 ;

佐藤学 .

中国专利 :CN102256431A ,2011-11-23

[4]

等离子体处理装置和方法 [P].

舆石公 ;

日向邦彦 ;

大谷龙二 ;

松本直树 ;

矢野大介 ;

速水利泰 ;

杉本胜 ;

小林典之 ;

吉备和雄 ;

大矢欣伸 ;

山泽阳平 ;

山崎广树 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

岩田学 ;

花冈秀敏 ;

佐藤学 .

中国专利 :CN1983518A ,2007-06-20

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

[6]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

本田昌伸 .

中国专利 :CN102209426B ,2011-10-05

[7]

等离子体处理装置 [P].

松本直树 ;

舆水地盐 ;

舆石公 .

中国专利 :CN101431854A ,2009-05-13

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 ;

冈信介 .

中国专利 :CN100536634C ,2006-11-15

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

西條利晃 ;

阿部淳 ;

庄司省吾 ;

加藤纯也 .

中国专利 :CN114242552A ,2022-03-25

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

金子和史 .

中国专利 :CN114302547A ,2022-04-08

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