直拉单晶直径测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810515369.4

申请日：

2018-05-25

公开(公告)号：

CN110528070B

公开(公告)日：

2019-12-03

发明(设计)人：

郭力周锐李侨徐战军王正远赵会刚张伟建刘永生武高峰

申请人：

申请人地址：

710100 陕西省西安市长安区航天中路388号

IPC主分类号：

C30B1526

IPC分类号：

代理机构：

西安弘理专利事务所 61214

代理人：

钟欢

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-03	公开	公开
2021-07-06	授权	授权
2019-12-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/26 申请日:20180525

共 50 条

[1]

直拉单晶直径测量方法 [P].

石磊 ;

邢建龙 .

中国专利 :CN103046128A ,2013-04-17

[2]

直拉单晶硅直径测量方法 [P].

郭兵健 ;

徐一俊 ;

黄笑容 ;

万喜增 ;

陈功 ;

蒋委达 .

中国专利 :CN102061517A ,2011-05-18

[3]

一种直拉单晶硅直径测量方法 [P].

孙玉梅 ;

李洪秀 ;

王红华 ;

苏凤 ;

董云云 .

中国专利 :CN104990510B ,2015-10-21

[4]

一种直拉单晶硅直径测量方法、装置和直拉单晶硅生长装置 [P].

金光勳 ;

李寅锋 ;

李嘉伟 ;

赵旭良 .

中国专利 :CN117739838A ,2024-03-22

[5]

基于数字信号处理器的双相机直拉单晶直径测量方法 [P].

刘丁 ;

任海鹏 ;

赵跃 ;

李琦 .

中国专利 :CN101226050B ,2008-07-23

[6]

基于霍夫变换的直拉单晶硅棒直径的测量方法 [P].

刘丁 ;

赵跃 ;

季瑞瑞 ;

任海鹏 .

中国专利 :CN100436657C ,2007-08-01

[7]

直拉硅单晶炉的硅熔体液面位置及单晶棒直径的测量方法 [P].

曹建伟 ;

张俊 ;

傅林坚 ;

邱敏秀 .

中国专利 :CN101782414A ,2010-07-21

[8]

一种新型直拉单晶直径检测方法 [P].

杨昊 ;

李海峰 ;

杨阳 ;

李向宇 ;

孙自阳 .

中国专利 :CN114108074A ,2022-03-01

[9]

连续直拉单晶的单晶炉 [P].

陈五奎 ;

陈昊 ;

陈嘉豪 ;

陈辉 .

中国专利 :CN213652723U ,2021-07-09

[10]

一种基于单相机的单晶炉液位、单晶棒直径的测量方法 [P].

欧世乐 ;

王克 ;

秦文 .

中国专利 :CN115564843A ,2023-01-03

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