MEMS传感器组件制造方法以及以该法制造的传感器组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911056440.8

申请日：

2019-10-31

公开(公告)号：

CN110759313A

公开(公告)日：

2020-02-07

发明(设计)人：

游振江林育菁

申请人：

申请人地址：

261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81C300 B81B700 B81B702

代理机构：

北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442

代理人：

石伟

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-23	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):B81C 1/00 登记生效日:20200603 变更事项:申请人变更前权利人:歌尔股份有限公司变更后权利人:潍坊歌尔微电子有限公司变更事项:地址变更前权利人:261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号变更后权利人:261061 山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼
2020-03-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20191031
2020-02-07	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS传感器组件制造方法、以及以该法制造的MEMS传感器组件 [P].

游振江 ;

林育菁 .

中国专利 :CN110775940A ,2020-02-11

[2]

传感器组件以及传感器组件的制造方法 [P].

外山祐一 .

中国专利 :CN107101757A ,2017-08-29

[3]

传感器组件和装置以及制造传感器组件的方法 [P].

哈拉尔德·埃齐梅尔 ;

安德森·辛格拉尼 .

中国专利 :CN109476475B ,2019-03-15

[4]

MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

中国专利 :CN113365937A ,2021-09-07

[5]

MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

德国专利 :CN113365937B ,2025-04-15

[6]

用于制造传感器组件的方法、传感器组件以及具有传感器组件的罐阀 [P].

M·凯泽勒 ;

J-P·纳格尔 .

德国专利 :CN118583314A ,2024-09-03

[7]

传感器组件以及形成该传感器组件的方法 [P].

查尔斯·米切尔 ;

西翁·迎 .

中国专利 :CN101184976A ,2008-05-21

[8]

图像传感器组件以及制造该组件的方法 [P].

崔容桓 ;

尹泳权 ;

文基态 .

中国专利 :CN1770462A ,2006-05-10

[9]

传感器组件和用于制造传感器组件的方法 [P].

S·弗莱舍尔 ;

J·多马特 ;

R·雷穆斯 ;

R·瓦尔歇 ;

M·温克勒 ;

S·科纳科特 ;

R·贡平格 ;

B·卢茨 ;

M·兰博 .

中国专利 :CN109313047A ,2019-02-05

[10]

传感器组件和用于制造传感器组件的方法 [P].

T·乌尔曼 ;

M·埃尔茨纳 .

中国专利 :CN111492205B ,2020-08-04

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