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MEMS传感器组件制造方法、以及以该法制造的MEMS传感器组件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911056438.0
申请日：
2019-10-31
公开(公告)号：
CN110775940A
公开(公告)日：
2020-02-11
发明(设计)人：
游振江
林育菁
申请人：
申请人地址：
261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号
IPC主分类号：
B81C100
IPC分类号：
B81B702
H04R1904
B01D4654
代理机构：
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442
代理人：
石伟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-03-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20191031 |
| 2020-06-23 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):B81C 1/00 登记生效日:20200603 变更事项:申请人 变更前权利人:歌尔股份有限公司 变更后权利人:潍坊歌尔微电子有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号 变更后权利人:261061 山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼 |
| 2020-02-11 | 公开 | 公开 |