MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810130036.6

申请日：

2008-07-24

公开(公告)号：

CN101353152A

公开(公告)日：

2009-01-28

发明(设计)人：

仲谷吾郎冈田瑞穗山下宜久

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

B81B700

IPC分类号：

B81C100 H04R1904 H04R3100

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

李贵亮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-01-28	公开	公开
2013-03-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101542404317 IPC(主分类):B81B 7/00 专利申请号:2008101300366 申请公布日:20090128
2010-08-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101004379311 IPC(主分类):B81B 7/00 专利申请号:2008101300366 申请日:20080724

共 50 条

[1]

MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

仲谷吾郎 .

中国专利 :CN101353153B ,2009-01-28

[2]

MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

纸西大祐 ;

M·W·黑勒 ;

藤田有真 .

日本专利 :CN118339460A ,2024-07-12

[3]

用于制造MEMS传感器的方法和MEMS传感器 [P].

M·施泰尔特 .

中国专利 :CN109422239A ,2019-03-05

[4]

MEMS传感器及MEMS传感器的制造方法 [P].

樱木正広 .

日本专利 :CN118145588A ,2024-06-07

[5]

MEMS传感器及MEMS传感器的制造方法 [P].

乾喜行 ;

藤田有真 .

日本专利 :CN117699732A ,2024-03-15

[6]

MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法 [P].

D·图姆波德 ;

D·迈尔 .

中国专利 :CN110498385A ,2019-11-26

[7]

MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法 [P].

D·图姆波德 ;

D·迈尔 .

德国专利 :CN110498385B ,2024-08-30

[8]

MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

中国专利 :CN113365937A ,2021-09-07

[9]

MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

德国专利 :CN113365937B ,2025-04-15

[10]

MEMS传感器的制备方法及MEMS传感器 [P].

罗志颖 .

中国专利 :CN120208160A ,2025-06-27

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