一种基于微电子机械系统技术的微型光谱仪

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710021052.7

申请日：

2007-03-23

公开(公告)号：

CN100507477C

公开(公告)日：

2007-08-22

发明(设计)人：

何野徐波

申请人：

申请人地址：

210005江苏省南京市中山南路100号天安国际大厦3010室

IPC主分类号：

G01J310

IPC分类号：

代理机构：

南京知识律师事务所

代理人：

汪旭东

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01J 3/10 申请日:20070323 授权公告日:20090701 终止日期:20200323
2009-07-01	授权	授权
2007-10-17	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-08-22	公开	公开

共 50 条

[1]

微电子机械系统 [P].

唐敏 ;

G·诺维罗 ;

F·伊塔利阿 .

中国专利 :CN101794678A ,2010-08-04

[2]

微电子机械系统 [P].

唐敏 ;

G·诺维罗 ;

F·伊塔利阿 .

中国专利 :CN105679607A ,2016-06-15

[3]

一种微型光谱仪 [P].

龙涛 ;

唐明 ;

严松 .

中国专利 :CN201697714U ,2011-01-05

[4]

微电子机械系统开关 [P].

R·J·T·班彦 ;

D·J·坎布斯 ;

K·M·布伦森 .

中国专利 :CN1842886B ,2006-10-04

[5]

微电子机械系统器件 [P].

山冈徹 ;

三由裕一 ;

竹内祐介 .

中国专利 :CN102066239A ,2011-05-18

[6]

微电子机械系统陀螺仪 [P].

裘进 ;

杨云春 .

中国专利 :CN119509501A ,2025-02-25

[7]

微电子机械系统陀螺仪 [P].

裘进 ;

杨云春 .

中国专利 :CN116222531B ,2025-06-24

[8]

微电子机械系统的加工方法 [P].

章安娜 ;

李晓明 .

中国专利 :CN104058362A ,2014-09-24

[9]

基于微电子机械系统技术的红外光源及制备方法 [P].

高晓光 ;

李建平 ;

何秀丽 .

中国专利 :CN100483255C ,2006-03-08

[10]

微电子机械系统传声器 [P].

金容国 .

中国专利 :CN201937821U ,2011-08-17

← 1 2 3 4 5 →