静电卡盘

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710118502.4

申请日：

2007-07-06

公开(公告)号：

CN101339916B

公开(公告)日：

2011-04-06

发明(设计)人：

彭宇霖

申请人：

申请人地址：

100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

北京凯特来知识产权代理有限公司 11260

代理人：

郑立明;任红

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-04-06	授权	授权
2009-11-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2017-11-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/683 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼变更后:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

共 50 条

[1]

静电卡盘 [P].

宋俊超 ;

李玉站 .

中国专利 :CN203434138U ,2014-02-12

[2]

高温静电卡盘 [P].

李新颖 ;

李冰 ;

赵梦欣 .

中国专利 :CN109256357A ,2019-01-22

[3]

静电卡盘 [P].

蒋昊延 ;

G·克里希纳 .

:CN308898694S ,2024-10-22

[4]

静电卡盘 [P].

相川贤一郎 ;

渡边守道 ;

神藤明日美 ;

胜田祐司 ;

佐藤洋介 ;

矶田佳范 .

中国专利 :CN103180266B ,2013-06-26

[5]

静电卡盘 [P].

相川贤一郎 ;

渡边守道 ;

神藤明日美 ;

胜田祐司 ;

佐藤洋介 ;

矶田佳范 .

中国专利 :CN103201235B ,2013-07-10

[6]

静电卡盘 [P].

陈奕文 ;

洪宇平 ;

周阿龙 ;

孙玉阔 .

中国专利 :CN117672943A ,2024-03-08

[7]

静电卡盘及半导体加工设备 [P].

李诗哲 ;

王文章 .

中国专利 :CN110867406A ,2020-03-06

[8]

静电卡盘加热控制装置及静电卡盘 [P].

沈美根 ;

刘芳 ;

邵亚利 ;

李东镁 ;

解尧明 ;

王异凡 ;

曾明全 .

中国专利 :CN118092547A ,2024-05-28

[9]

静电卡盘加热控制装置及静电卡盘 [P].

沈美根 ;

刘芳 ;

邵亚利 ;

李东镁 ;

解尧明 ;

王异凡 ;

曾明全 .

中国专利 :CN118092547B ,2024-08-30

[10]

一种静电卡盘 [P].

吉美爱 .

中国专利 :CN1851896A ,2006-10-25

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